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光掩膜 本文内容来自于互联网，分享光掩膜(光掩膜版) 光掩膜(mask)资料: 　　在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到wafer制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。 　　光掩膜除了应...